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自1898年證實陽離子射線,可經電場及磁場之作用而發生偏折後,於1912年英國物理學家湯姆森(J. J. Thomson)更利用簡單的磁偏轉儀而發現可分離出20Ne及22Ne的穩定同位素,自此建立質譜分析的觀念。