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本書以深入淺出的方式介紹薄膜多樣化之製程技術，不但可以發現薄膜不僅是資訊社會追求輕薄短小電子元件製作之關鍵技術，更是現今奈米技術必備之重要製程，也對薄膜的功能有基本的認識，其內容包含有:薄膜形成技術、磊晶成長、半導體薄膜、光學薄膜、有機薄膜、介電體薄膜、磁性薄膜之分類、敘述其基礎及原理、製作參數及現實之製作技術等。適合大學、科大機械、電機、化工系「薄膜工程」、「薄膜技術」課程使用。
本書特色
1
. 本書除了說明薄膜技術之基本原理外,也介紹了最尖端技術
,在產業應用領域上,是一本極易理解之教科書。
2
. 讓讀者了解薄膜其基礎及原理、製作參數及實際之製作技術等。
3
. 本書介紹薄膜對半導體及各種資訊相關元件之高性能化、高積
體化、輕量化之貢獻。
