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薄膜及微細加工技術的應用範圍極為廣泛，從大規模集成電路、電子元件、平板顯示器、信息記錄與儲存、MEMS、傳感器、太陽能電池，到材料的表面改性等，涉及高新技術產業的各個領域。本書內容包括真空技術基礎，薄膜材料及應用、薄膜成份與結構分析等5大部份，涉及薄膜技術與薄膜材料的各個方面。全書共17章，文字通俗易懂，並配有大量圖解，有利於對基本知識的理解、掌握與運用。對於從事相關行業的科技工作者與工程技術人員，本書具有極為難得的參考價值，同時也是其他感興趣讀者了解薄膜材料與技術的高新技術中應用的一本很好的入門書籍。
